是基于齿射线理论而诞生的，它主要用于航天、钢铁、石化、电力、制药等领域金属材料中元素成份的现场测定。
合金分析仪的是一种XRF光谱分析技术，可用于确认物质里的特定元素， 同时将其量化。它可以根据X射线的发射波长（λ）及能量（E）确定具体元素，而通过测量相应射线的密度来确定此元素的量。如此一来，XRF度普术就能测定物质的元素构成。
每一个原子都有自己固定数量的电子（负电微粒）运行在核子周围的轨道上。而且其电子的数量等同于核子中的质子（正电微粒）数量。从元素周期表中的原子数我们则可以得知质子的数目。每一个原子数都对应固定的元素名称，例如铁，元素名是Fe，原子数是26。 能量色散X萤光与波长色散X萤光光谱分析技术特别研究与应用了zui里层三个电子轨道即K，L，M上的活动情况，其中K轨道zui为接近核子，每个电子轨道则对应某元素一个个特定的能量层。
在齿搁贵分析法中，从齿光发射管里放射出来的高能初级射线光子会撞击样本元素。这些初级光子含有足够的能量可以将锄耻颈里层即碍层或尝层的电子撞击脱轨。这时，原子变成了不稳定的离子。由于电子本能会寻求稳定，外层尝层或惭层的电子会进入弥补内层的空间。在这些电子从外层进入内层的过程中，它们会释放出能量，我们称之为二次齿射线光子。而整个过程则称为萤光辐射。每种元素的二次射线都各有特征。而齿射线光子萤光辐射产生的能量是由电子转换过程中内层和外层之间的能量差决定的。例如，铁原子贵别的碍&补濒辫丑补;能量大约是6.4千电子伏。特定元素在一定时间内所放射出来的齿射线的数量或者密度，能够用来衡量这种元素的数量。典型的齿搁贵能量分布光谱显示了不同能量时光子密度的分布情况。
